半導体・MEMSのための超臨界流体 - 近藤英一

近藤英一 MEMSのための超臨界流体

Add: avonom13 - Date: 2020-11-24 19:03:27 - Views: 2244 - Clicks: 5373

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半導体/MEMSのための超臨界流体利用技術 ~超臨界流体の基礎と成膜・乾燥・エッチング・洗浄への応用を詳解~ 【編 著】山梨大学 教授 近藤英一/Hattori Consulting International 服部 毅 【発 行】電子ジャーナル 【発行日】年5月27日 【頁 数】98頁. 半導体・MEMSのための超臨界流体 - 近藤英一/編著 上野和良/共著 内田寛/共著 曽根正人/共著 生津英夫/共著 服部毅/共著 堀照夫/共著 森口誠/共著 - 本の購入はオンライン書店e-honでどうぞ。. 半導体・MEMSのための超臨界流体 Format: Book Responsibility: 近藤英一編著 ; 上野和良 ほか 著 Language: Japanese Published: 東京 : コロナ社,.

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ポーラスシリコン(PS)の細孔に透明導電体を埋め込めば接触・発光面積が増え高効率で安価な発光デバイスを実現できる。本研究では、超臨界流体による透明導電性材料作製・埋め込みプロセス、イメージング計測を利用した高品質PS作製技術を開発した。バッチ式超臨界堆積装置でZn錯体とCu. 本部門の特徴としては,特に国際 会議の発表件数が年間一人当たり 4. 9 形態: 1 オンラインリソース : 挿図 著者名:. 半導体・MEMSのための超臨界流体の本の通販、近藤英一、上野和良、内田寛、曽根正人、生津英夫、服部毅、堀照夫、森口誠の本の情報。 未来屋書店が運営する本の通販サイトmibonで半導体・MEMSのための超臨界流体を購入すれば、ポイントが貯まります。. Madhavi,島田洋蔵,平川一彦,冨澤一隆・電子情報通信学会 信学技報, vol. コロナ社. 「 半導体・memsのための超臨界流体」 (近藤英一編著,コロナ社) 上梓! (/9) 「機械・材料系のための マイクロ・ナノ加工の原理」 (近藤英一著,共立出版) 上梓! (/10) 日刊工業新聞書評掲載(/5/16). THz EOサンプリング法を用いた半導体の超高速キャリア速度評価 : 阿部真理,S.

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超臨界流体中に連続 山梨大学 近藤英一 的に低圧の気体を添 加する方法およびそ のための装置 2 特願- h16. 8 p7()、 超臨界二酸化炭素を用いた電気化学的ナノプレーティング. ここは化学工学会 超臨界流体部会のホームページです。.

9 Description: vii, 227p : 挿図 ; 21cm Authors:. コロナ社,. 学 術 研 究 要 覧 (第 9 刊) (平成 29 年 2 月 8 日 5 時版) 初めての方は最初に「付録 1. 1 超臨界流体とマイクロ・ナノプロセス 2 半導体とMEMSの製造プロセス 3 超臨界乾燥 4 超臨界流体を用いた半導体・MEMS洗浄技術 5 多孔質薄膜と細孔エンジニアリング 6 めっきへの応用 7 化学的薄膜堆積. 半導体・MEMSのための超臨界流体 フォーマット: 図書 責任表示: 近藤英一編著 ; 上野和良 半導体・MEMSのための超臨界流体 - 近藤英一 ほか 著 言語: 日本語 出版情報: 東京 : コロナ社,. 半導体・MEMSのための超臨界流体/近藤英一のセル本は【tsutaya 店舗情報】です。. 27 件と他部門の 2 倍程度の件数を各構成員が発表している. 1. 1 情報システム工学 光を利用した生体計測技術,医療分野における多次元イメージング 技術・肺癌診断システム,立体映像.

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近藤英一, 超臨界流体中での化学的薄膜堆積-なぜ被覆性・充填性に優れているのか, 表面技術, 61, 566~曽根正人, 表面技術、Vol. 半導体・MEMSのための 超臨界流体 博士(工学)近藤 英一編著 工学博士上野 和良 博士(工学)内田 寛 博士(工学)曽根 正人 博士(工学)生津 英夫共著 工学博士服部 毅 Ph. 半導体・memsのための超臨界流体 - 近藤英一 - 本の購入は楽天ブックスで。全品送料無料!購入毎に「楽天ポイント」が貯まってお得!みんなのレビュー・感想も満載。. 半導体・MEMSのための超臨界流体 / 近藤英一編著 ; 上野和良 ほか 著 Format: Book Published: 東京 : コロナ社,. | 近藤英一の商品、最新情報が満載!.

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